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          值班经理: 蔡永国: 181 0371 5723
          徐晓冬: 188 3821 1523
          Email : nbd@sxzyzs.com
          企业地址: 南昌·新郑·新村镇郑州理工职业学院内
              CVD系统 时下位置:血站首页 > 产品展示

          RTP霎时退火炉

          通告时间:2017-11-16  浏览次数:2603

          产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
          商品简述:NBD HR铺天盖地高温快速热处理退火炉简称RTP。 
          该产品采用成熟的制作工艺,RTP霎时退火炉造型新颖结构合理; 
          眼前已把各种形式实验多次验证,RTP霎时退火炉并已普遍用于半导体器件研发及生产等世界; 


          该系统主要用于: 
          1.可满足离子注入后的迅猛退火; 
          2.也可用于欧姆接触快速合金; 
          3.还可用于硅化物合金退火,RTP霎时退火炉氧化物生长; 
          4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
          该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6


              霎时热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP霎时退火炉在成熟的生产制造工艺的基础上,独立研制了该款产品,获得发明专利。RTP霎时退火炉该设备不但拥有较快的升温速率500℃/S,而且在重组工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。贯彻物理状态下的较快降温。咱们的高工们巧妙地应用了冷壁工艺,RTP霎时退火炉在绿色节能环保的基础上实现了花样的迅猛升降温!
          腔体采用了不同之进气结构,内管进气,外管出气,RTP霎时退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。测温元件直接和形式接触,合同试样温度的准确性。


          RTP霎时退火炉主要技术参数

          1

          项 目

          关键技术指标

          数量

          2

          谱型号

          NBD-HR1200-110IT-170

          3

          温度控制

          高高的温度点

          1200℃

          4

          预定温度

          1100℃

          5

          稳定状态温度范围

          100~1000℃

          6

          温度测量精度

          ±0.2℃

          7

          温度控制投机性

          ±1℃

          8

          温度控制精确度

          ±1℃

          9

          温场均匀性

          ±2℃

          10

          温度状态工艺时间(S)

          2~100(100~1000℃)

          11

          最快升温速率

          500℃/S

          12

          降温速率(℃/S)

          1~200(交通氮气,投票率更快)

          13

          温度控制模式

          智能模糊全闭环控制

          14

          硬件功能

          操控系统

          NBD-101智能系统

          15

          用户界面

          中英文互换

          16

          工艺菜单编辑

          触屏式图像操作界面

          17

          推而广之端口

          可扩充真空测控和FFC供气

          18

          看门狗

          系统进入死循环时关闭主控制器

          19

          热电偶校准状态检测

          硬件校准,丰厚准确,硬件分析传感器状态是否健康

          20

          超高温状态检测

          硬件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路

          21


          荧屏尺寸

          7"LCD

          22

          物理指标

          最大功率

          15kw

          23

          预定电压

          AC380~400V,50Hz(60Hz研制)

          24

          探测器类型

          S型单铂铑

          25

          影响腔室内径尺寸

          Φ100X200mm

          26

          花样有效空间

          3.5"

          27

          真空度

          4.3×10-3Pa(外配分子泵)

          28

          抽气端口尺寸

          KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

          29

          供气口尺寸

          Φ6.35mm双卡套

          30

          冷却方式

          潇洒冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

          31

          外形净尺寸(mm)

          长920×深500×高560

          32

          重65kg